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中科院微電子臺式勻膠機/旋塗儀/塗膠機

更新時間╃╃│₪:2021-12-27

簡要描述╃╃│₪:

我研究室生產的KW型勻膠機適應於半導體矽片₪✘•✘,載玻片₪✘•✘,晶片₪✘•✘,基片₪✘•✘,ITO導電玻璃等工藝₪✘•✘,製版的表面塗覆•☁。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點₪✘•✘,並能保證半導體材料中塗膠厚度的一致性和均勻性•☁。通常配真空泵一起使用•☁。目前的型號有KW-4A型和KW-5型•☁。

產品主要特點

1│╃││、開關電流調速₪✘•✘,穩定效能更好₪✘•✘,轉速調節以數字顯示為準•☁。

2│╃││、轉速在500~8000轉/分範圍內非常穩定•☁。

品牌其他品牌產地類別國產
應用領域電子

中國科學院微電子研究所 KW-4A型臺式勻膠機/旋塗儀/塗膠機

產品簡介 

我研究室生產的KW-4A型勻膠機適應於半導體矽片₪✘•✘,載玻片₪✘•✘,晶片₪✘•✘,基片₪✘•✘,ITO導電玻璃等工藝₪✘•✘,製版的表面塗覆•☁。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點₪✘•✘,並能保證半導體材料中塗膠厚度的一致性和均勻性•☁。通常配真空泵一起使用•☁。目前的型號有KW-4A型和KW-5型•☁。 

產品主要特點 

1│╃││、開關電流調速₪✘•✘,穩定效能更好₪✘•✘,轉速調節以數字顯示為準•☁。 

2│╃││、轉速在500~8000轉/分範圍內非常穩定•☁。   

3│╃││、採用雙轉速•☁。在啟動之後₪✘•✘,先以低速運轉₪✘•✘,使膠攤開₪✘•✘,然後自動轉換到高速運轉•☁。兩種轉速及相應的時間分別可調₪✘•✘,時間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘•☁。 

4│╃││、具有定時功能•☁。  

5│╃││、測速採用光電的辦法₪✘•✘,產生光電脈衝₪✘•✘,由晶體分頻測速準確性高•☁。  

6│╃││、"吸片"採用電磁閥控制氣路₪✘•✘,一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作₪✘•✘,適合流水線的工藝₪✘•✘,提高了效率•☁。   

7│╃││、在安裝結構上₪✘•✘,採取了減振措施₪✘•✘,保證了在運轉時噪音低•☁。 

效能指標╃╃│₪:

引數

指標

調速範圍和勻膠時間

Ⅰ檔調速範圍╃╃│₪:500-2000轉/分Ⅰ檔勻膠時間╃╃│₪:2-18秒

Ⅱ檔調速範圍╃╃│₪:1300-8000轉/分Ⅱ檔勻膠時間╃╃│₪:3-60秒

適用

Φ5-Φ100mm矽片及其它材料等勻膠

電機功率

40W

LED數字顯示

轉速穩定度╃╃│₪:±1%₪✘•✘,膠的均勻性╃╃│₪:±3%

真空泵抽氣速率

≥60升/分

儀器尺寸

210×220×160mm

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