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中科院微電子臺式勻膠機/旋塗儀/塗膠機

更新時間╃▩◕:2021-12-27

簡要描述╃▩◕:

我研究室生產的KW型勻膠機適應於半導體矽片◕•│✘◕,載玻片◕•│✘◕,晶片◕•│✘◕,基片◕•│✘◕,ITO導電玻璃等工藝◕•│✘◕,製版的表面塗覆₪·₪。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點◕•│✘◕,並能保證半導體材料中塗膠厚度的一致性和均勻性₪·₪。通常配真空泵一起使用₪·₪。目前的型號有KW-4A型╃╃·、KW-5型和KW-4T型₪·₪。

品牌其他品牌產地類別國產
應用領域電子

中國科學院微電子研究所 KW-4A型臺式勻膠機/旋塗儀/塗膠機

產品簡介 

我研究室生產的KW-4A╃╃·、KW-4T型勻膠機適應於半導體矽片◕•│✘◕,載玻片◕•│✘◕,晶片◕•│✘◕,基片◕•│✘◕,ITO導電玻璃等工藝◕•│✘◕,製版的表面塗覆₪·₪。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點◕•│✘◕,並能保證半導體材料中塗膠厚度的一致性和均勻性₪·₪。通常配真空泵一起使用₪·₪。目前的型號有KW-4A型/KW-5型/KW-4T型₪·₪。 

技術引數及要求╃▩◕:
基片尺寸╃▩◕: Φ 5 Φ 100mm 圓片◕•│✘◕,*大 100 × 100mm 2 方片
轉速╃▩◕: 25 0 9 000RPM
旋塗設定╃▩◕:任意階段之間均可任意升降調節
轉速穩定性╃▩◕: 1%
旋塗均勻性╃▩◕: 1
旋塗工藝階段╃▩◕: 6 段
旋塗時間╃▩◕:單步工藝 0 180 0s 可根據 客戶需求 調節
整機尺寸( 長寬高 210 mm × 2 8 0 mm × 248 mm
裸機尺寸 長寬高 210 mm × 2 8 0 mm × 1 55mm
電機功率╃▩◕: 40W
適應材料╃▩◕:矽片╃╃·、玻璃╃╃·、石英╃╃·、金屬╃╃·、 GaAs ╃╃·、 GaN ╃╃·、 InP 等各種材料
配套 無油真空泵引數╃▩◕:
型號╃▩◕: K W 550A/KW 550T
抽速╃▩◕: 1 .5 升 秒
功率╃▩◕: 3 20W
噪音╃▩◕: 50db
*低真空度╃▩◕: 700mmHg
重量╃▩◕: 7.3 Kg
尺寸 長寬高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽氣速率╃▩◕: ╃▩◕:>60L/min

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