中科院微電子臺式勻膠機/旋塗儀/塗膠機

中國科學院微電子研究所 KW-4A型臺式勻膠機/旋塗儀/塗膠機

產品簡介 

我研究室生產的KW-4A╃╃·、KW-4T型勻膠機適應於半導體矽片◕•│✘◕，載玻片◕•│✘◕，晶片◕•│✘◕，基片◕•│✘◕，ITO導電玻璃等工藝◕•│✘◕，製版的表面塗覆₪·₪。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點◕•│✘◕，並能保證半導體材料中塗膠厚度的一致性和均勻性₪·₪。通常配真空泵一起使用₪·₪。目前的型號有KW-4A型/KW-5型/KW-4T型₪·₪。 

技術引數及要求╃▩◕：
基片尺寸╃▩◕： Φ 5 Φ 100mm 圓片◕•│✘◕，*大 100 × 100mm 2 方片
轉速╃▩◕： 25 0 9 000RPM
旋塗設定╃▩◕：任意階段之間均可任意升降調節
轉速穩定性╃▩◕： 1%
旋塗均勻性╃▩◕： 1
旋塗工藝階段╃▩◕： 6 段
旋塗時間╃▩◕：單步工藝 0 180 0s 可根據 客戶需求 調節
整機尺寸（ 長寬高 210 mm × 2 8 0 mm × 248 mm
裸機尺寸 長寬高 210 mm × 2 8 0 mm × 1 55mm
電機功率╃▩◕： 40W
適應材料╃▩◕：矽片╃╃·、玻璃╃╃·、石英╃╃·、金屬╃╃·、 GaAs ╃╃·、 GaN ╃╃·、 InP 等各種材料
配套 無油真空泵引數╃▩◕：
型號╃▩◕： K W 550A/KW 550T
抽速╃▩◕： 1 .5 升 秒
功率╃▩◕： 3 20W
噪音╃▩◕： 50db
*低真空度╃▩◕： 700mmHg
重量╃▩◕： 7.3 Kg
尺寸 長寬高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽氣速率╃▩◕： ╃▩◕：>60L/min