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中科院微電子研究所KW-5型勻膠機/旋塗儀

更新時間↟•│◕:2021-12-27

簡要描述↟•│◕:

中國科學院微電子研究所生產的KW-4A/KW-5型勻膠機適應於半導體矽片◕✘·,載玻片◕✘·,晶片◕✘·,基片◕✘·,ITO導電玻璃等工藝◕✘·,製版的表面塗覆↟↟☁。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點◕✘·,並能保證半導體材料中塗膠厚度的一致性和均勻性↟↟☁。通常配真空泵一起使用↟↟☁。目前的型號有KW-4A型和KW-5型↟↟☁。

品牌其他品牌價格區間1-5萬
產地類別國產應用領域生物產業,電子,航天

中國科學院微電子研究所生產的KW-4A/KW-5型勻膠機適應於半導體矽片◕✘·,載玻片◕✘·,晶片◕✘·,基片◕✘·,ITO導電玻璃等工藝◕✘·,製版的表面塗覆↟↟☁。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點◕✘·,並能保證半導體材料中塗膠厚度的一致性和均勻性↟↟☁。通常配真空泵一起使用↟↟☁。目前的型號有KW-4A型和KW-5型↟↟☁。 

技術引數及要求↟•│◕:變頻調速
基片尺寸↟•│◕:Φ100-Φ200mm(4 英寸~8 英寸)
轉速↟•│◕:500-5000 轉/分
轉速穩定性↟•│◕:±1%
旋塗均勻性↟•│◕:±5%
旋塗工藝階段↟•│◕:2 段
旋塗時間↟•│◕:Ⅰ速0~18S;Ⅱ速0~60S
整機尺寸(長寬高)↟•│◕:425 mm×500 mm×300 mm
裸機尺寸(長寬高)↟•│◕:425mm×500mm×190mm
電機功率↟•│◕:180W
適應材料↟•│◕:矽片₪☁▩、玻璃₪☁▩、石英₪☁▩、金屬₪☁▩、GaAs₪☁▩、GaN₪☁▩、InP 等各種材料

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