勻膠機

更新時間✘╃：2021-12-27

簡要描述✘╃：

我研究室生產的KW型勻膠機適應於半導體矽片✘₪◕··，載玻片✘₪◕··，晶片✘₪◕··，基片✘₪◕··，ITO導電玻璃等工藝✘₪◕··，製版的表面塗覆₪✘。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點✘₪◕··，並能保證半導體材料中塗膠厚度的一致性和均勻性₪✘。通常配真空泵一起使用₪✘。目前的型號有KW-4A型↟·◕◕、KW-5型和KW-4T型₪✘。

品牌	其他品牌	產地類別	國產
應用領域	電子

產品簡介

我研究室生產的KW-4A↟·◕◕、KW-4T型勻膠機適應於半導體矽片✘₪◕··，載玻片✘₪◕··，晶片✘₪◕··，基片✘₪◕··，ITO導電玻璃等工藝✘₪◕··，製版的表面塗覆₪✘。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點✘₪◕··，並能保證半導體材料中塗膠厚度的一致性和均勻性₪✘。通常配真空泵一起使用₪✘。目前的型號有KW-4A型/KW-5型/KW-4T型₪✘。

勻膠機技術引數及要求✘╃：
基片尺寸✘╃： Φ 5 Φ 100mm 圓片✘₪◕··，*大 100 × 100mm 2 方片
轉速✘╃： 25 0 9 000RPM
旋塗設定✘╃：任意階段之間均可任意升降調節
轉速穩定性✘╃： 1%
旋塗均勻性✘╃： 1
旋塗工藝階段✘╃： 6 段
旋塗時間✘╃：單步工藝 0 180 0s 可根據客戶需求調節
整機尺寸（長寬高 210 mm × 2 8 0 mm × 248 mm
裸機尺寸長寬高 210 mm × 2 8 0 mm × 1 55mm
電機功率✘╃： 40W
適應材料✘╃：矽片↟·◕◕、玻璃↟·◕◕、石英↟·◕◕、金屬↟·◕◕、 GaAs ↟·◕◕、 GaN ↟·◕◕、 InP 等各種材料
配套無油真空泵引數✘╃：
型號✘╃： K W 550A/KW 550T
抽速✘╃： 1 .5 升秒
功率✘╃： 3 20W
噪音✘╃： 50db
*低真空度✘╃： 700mmHg
重量✘╃： 7.3 Kg
尺寸長寬高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽氣速率✘╃： ✘╃：>60L/min

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